TiCN 氮碳化钛的制备工艺主要有物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)两种1。
物理气相沉积(PVD):
在高真空环境中,通过蒸发或溅射钛源,并使钛原子与氮气和碳源反应,在基底表面形成 TiCN 涂层。
化学气相沉积(CVD):
利用含钛、氮和碳的气态前驱体在一定的温度和压力条件下,在基底上发生化学反应生成 TiCN 涂层。
TiCN 涂层具有以下特点:
硬度高:TiCN 涂层的硬度通常在 HV3000-4000 左右,比氮化钛(TiN)涂层更高,具有出色的耐磨性和抗划伤性能。
润滑性好:该涂层表面光滑,摩擦系数低,有助于减少切削力和热量的产生,提高加工效率。
抗氧化性强:TiCN 涂层在高温下具有较好的抗氧化性能,能够保持其硬度和耐磨性,适用于高速切削和干式切削加工1。
抗粘结性好:涂层能够防止工件材料在刀具表面的粘附,减少积屑瘤的产生,提高加工质量。